Buforowane wytrawianie tlenkowe - Buffered oxide etch
Buforowane wytrawianie tlenkowe ( BOE ), znane również jako buforowane HF lub BHF, to mokry wytrawiacz stosowany w mikrofabrykacji . Jej głównym zastosowaniem jest trawienie cienkie folie z dwutlenku krzemu (SiO 2 ) lub azotku krzemu (Si 3 N 4 ). Jest to mieszanina środka buforującego , takiego jak fluorek amonu (NH 4 F) i kwas fluorowodorowy (HF). Skoncentrowany HF (zazwyczaj 49% HF w wodzie) zbyt szybko wytrawia dwutlenek krzemu, aby zapewnić dobrą kontrolę procesu, a także zdziera fotorezyst stosowany przy tworzeniu wzorów litograficznych . Buforowane wytrawianie tlenkowe jest powszechnie stosowane do bardziej kontrolowanego trawienia.
Niektóre tlenki tworzą nierozpuszczalne produkty w roztworach HF. Tak więc HCl jest często dodawany do roztworów BHF w celu rozpuszczenia tych nierozpuszczalnych produktów i uzyskania wytrawiania o wyższej jakości.
Typowy buforowany roztwór do wytrawiania tlenków zawiera 40% NH 4 F w wodzie w stosunku objętościowym 6: 1 do 49% HF w wodzie. Ten roztwór wytrawia wytworzony termicznie tlenek z szybkością około 2 nanometrów na sekundę w temperaturze 25 stopni Celsjusza. W celu zwiększenia szybkości trawienia można podnieść temperaturę. Ciągłe mieszanie roztworu podczas procesu wytrawiania pomaga uzyskać jednorodny roztwór, który może wytrawiać równomiernie poprzez usuwanie wytrawionego materiału z powierzchni.